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母合金
2015-06-30 14:30
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掺杂,又称配料,掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质(如磷)或受主杂质(如硼)的杂质浓度,使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。
拉制一定型号和电阻率的单晶硅,要选用适当的掺杂剂 - 母合金。拉制电阻率较高的硅单晶则采用母合金作掺杂剂。 采用“母合金”作为掺杂剂是为了使掺杂量容易控制、更准确。
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