一、设备主要参数
序号 | 项 目 | 参 数 | 单位 |
1 | 炉型 | 卧式 | / |
2 | 控制方式 | PLC+人机界面 | / |
3 | 抽气机组 | 分子泵+机械泵 | / |
4 | 电源要求 | 3相 380/220V 50Hz | / |
5 | 总功率 | 65 | kw |
8 | 使用材质 | 炉体及法兰为304L材料 | / |
加热器为钼镧合金 | / | ||
隔热屏为钼镧合金加不锈钢 | / |
二、主要技术指标
序号 | 项 目 | 参 数 | 单位 |
1 | 加热区尺寸 | 850*680（L×ø） | mm |
2 | 工作区尺寸 | 600*400*400（L×W×H） | mm |
3 | 工作温度 | ≤1200 | ℃ |
4 | 极限温度 | ≤1300 | ℃ |
4 | 均温性 | ±5（900℃，保温30分钟后测量） | ℃ |
5 | 控温精度 | ±1 | ℃ |
6 | 极限真空度 | 6.67×10-4(空炉、冷态、经净化) | Pa |
7 | 工作真空 | 6.67×10-3（空炉,900℃,保温1h） | Pa |
9 | 系统抽速 | 主抽阀开启后20min内（1atm到1×10-3Pa） | Pa |
10 | 升温速率 | ≤20℃/min | ℃/min |
11 | 温度测量 | 一点腔内控温、一点金属屏温度监控，预留电极法兰口，用于温场测量 | / |
三、加热系统
1、加热区尺寸：850*680mm（L×ø）
2、加热功率：55 KW
3、加热元件：钼镧合金
4、隔热组件：钼镧合金+不锈钢
5、温度测量：N型热电偶
6、控温精度：±1℃
7、升温速率 MAX：由室温升至1000℃小于90min（空炉） 建议10℃/min，最快≤20℃/min
上海微行炉业有限公司
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