M3030VA

 LINE TECH自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程，终于诞生出今天的M系列，MFC/MFM产品。

   LINE TECH气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。

主要参数：

流量范围：               0.01-30(slpm)

响应时间：               ≤2

精    度：               ≤1%

重 复 性：               ±0.25

输出信号：               0-5vdc或4-20mA

供电电压：               15-28vdc 350mA

温度范围：               0-50℃

漏    率：               1×10负9次方atm.cc/sec

使用范围：               2-100% for max range

 

相关型号：