美国Entegris直列燃气过滤器

在晶圆处理中，气体面板、气体柜以及任何需要超纯气体的区域，提供卓越的颗粒过滤。

• 紧凑型装置减少了整体燃气箱的占地面积，节省了宝贵的设备空间

• PTFE膜提供高效过滤，提高产品产率

• 低压降降低了低蒸气压气体中冷凝的风险

• 与所有半导体工艺气体类别的兼容性极佳

• 用于惰性和反应性气体，包括臭氧