作为加热炉用石墨发热体要求产生稳定热场,所以要求石墨具有质地均匀,有稳定的电阻率。用于单晶制造的石墨发热体,要求石墨特别洁净,以避免杂质元素影响单晶纯度,其总灰分含量应小于20×10–6,有的要求达到5×10–6。
常用单晶炉发热体石墨性能如下:
体积密度 气孔率 抗压强度 比电阻 灰分
/g?cm–3 /% /MPa /Ω?cm /%
1.70~1.76 15~20 35~60 (7~15)X10–4 (5~20)×10–4
石墨发热体的设计应参照选用石墨的电阻率而定。
石墨发热体的机械加工、包装、运输、贮藏过程中应该保持洁净、避免污染。
石墨发热体在使用过程中常会出现变形现象,这是由于石墨的蠕变所造成。室温时石墨蠕变很小,当温度升到1700℃或更高时,几小时后可观察到蠕变,应力消除后,材料中留有残余应变,造成石墨发热体塑性变形。反映在实际使用中石墨变形造成热场不均匀,规格尺寸越大变形越小,颗粒小比颗粒大的石墨变形大。防止石墨发热体变形的办法是,在使用前,先空烧一次(先通电升温)用支架将发热体支撑住,空烧温度应大于实际使用温度100~200℃。为消除热应力造成石墨发热体变形,一些厂商将用于发热体的石墨最大颗粒由0.075mm,扩大至0.5~1mm,取得了较好效果。
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