一台配套FANUC 11ME系统加工中心在长期使用后，X轴做正向运时发生震动。
故障分析与检查，伺服进给系统产生震动、爬行的原因主要有一下几种：
机械部分安装、调整不良。
伺服电动机或速度、位置检测部件不良。
驱动器的设定和调整不当
外部干扰、接地、屏蔽不良等。
为了分清故障部位，考虑到机床伺服驱动系统为半闭环结构，脱开电动机与丝杠的连接后再次开机试验，发现故障依然存在，因此，初步判定故障原因在伺服驱动系统的电气部分。
为了进一步判别故障原因，维修时我更换了X/Y轴的伺服电动机，进行试验，结果发现故障转移到了Y轴，由此我可以判定故障原因是由于X轴电动机不良引起来的。
再次利用示波器测量伺服电动机内装式编码器的信号，最终发现故障是由于编码器不良而引起的。
故障解决方法
更换伺服电动机内装式编码器后，机床恢复正常工作。
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